千級無塵車間簡介 |
發(fā)布者: 發(fā)布時間:2022/6/22 9:57:33 點擊:1192 |
無塵車間是指將必定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物掃除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別規(guī)劃之房間。 無塵車間是不管外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有保持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵車間的等級包含1級無塵車間、百級無塵車間、千級無塵車間以及十萬級無塵車間等。 千級無塵車間是什么意思? 每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,達到了世界無塵規(guī)范的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵規(guī)范對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也便是業(yè)內俗稱等級中的千級。 千級無塵車間的規(guī)范,微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也便是業(yè)內千級無塵車間的意思。(1000級的概念是:每立方英尺內,大于等于0.5的灰塵顆粒不能超過1000顆)?! ? 無塵車間等級規(guī)范區(qū)分潔凈度等級規(guī)范ISO14644根據懸浮粒子濃度這個僅有指標來區(qū)分潔凈室(區(qū))及相關受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級,而且僅考慮粒徑限值(低限)0.1um~0.5um范圍內累計分布的粒子群。根據粒子徑,能夠區(qū)分為慣例粒子(0.1um~0.5um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
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