無塵室的用途 |
發(fā)布者: 發(fā)布時間:2023/2/20 8:27:21 點擊:521 |
無塵室較主要之作用在于操控產品(如硅芯片等)所觸摸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個杰出之環(huán)境空間中生產、制造,此空間咱們稱之為無塵室。依照世界慣例,無塵凈化等級主要是依據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于區(qū)分規(guī)范的粒子數(shù)量來規(guī)定。也便是說所謂無塵并非沒有一點塵埃,而是操控在一個非常微量的單位上。當然這個規(guī)范中契合塵埃規(guī)范的顆粒相關于咱們常見的塵埃已經是小的微乎其微,可是關于光學結構而言,哪怕是一點點的塵埃都會發(fā)生非常大的負面影響,所以在光學結構產品的生產上,無塵是必定的要求。
每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量操控在3500個以下,達到了世界無塵規(guī)范的A級。應用在芯片級生產加工的無塵規(guī)范關于塵埃的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數(shù)量被嚴格操控在每立方米1000個以內,這也便是業(yè)界俗稱的1K等級。
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